Schnelle Inbetriebnahme
60 Tage Rückgaberecht
Kostenvorteile durch flexible Finanzierung
Höchste Qualität
Modular buchbare Serviceleistungen
Remote Support

HCS 1


Charakterisierung von Halbleitern und Bauelementen

Probenhalter

Probenhalter 25 x 25 mm
Probenhalter für Proben von 17.5 x 17.5 mm bis 25 x 25 mm

Maximale Probenhöhe 5 mm
Produktnummer: HCS/H1B/25

400,00 €*
Probenhalter 50 x 50 mm
Probenhalter für Proben von 42.5 x 42.5 mm bis 50 x 50 mm

Maximale Probenhöhe 5 mm
Produktnummer: HCS/H1B/50

795,00 €*
Probenhalter 12.5 x 12.5 mm
Probenhalter für Proben von 5 x 5 mm bis 12.5 x 12.5 mm
Maximale Probenhöhe 3 mm
Produktnummer: HCS/H1B/12

390,00 €*
Hochtemperatur Probenhalter
Für Messungen von RT bis 600°C

<font color="#e6662f">Zusätzliche Hochtemperaturoption für das HCS notwendig</font>
Probenhalter aus Keramik
Probenhalter für Proben von 5 x 5 mm bis 10 x 10 mm

Maximale Probenhöhe 3 mm

Produktnummer: HCS/HTB

1.650,00 €*
Seebeck Probenhalter
Probenhalter zur Messung des Seebeck-Koeffizienten
Für Messungen bis zu 200°C (inkl. TC Probes)
Probenhalter für Proben von 20 x 20 mm bis 25 x 25 mm
Maximale Probenhöhe 5 mm
Produktnummer: HCS/SEEB/H1B

795,00 €*

Referenzproben & sonstiger Zubehör

ITO (Indium-Zinn-Oxid) Referenzprobe inkl. Zertifikat
Inkl. Zertifikat
Produktnummer: 20C07095

195,00 €*
Indium-Zinn-Lot
Zum besseren Kontakt zwischen Probe und Aufnahme

Zusammensetzung: 95% Indium, 5% Zinn
Größe: 50 x 50 x 3 mm
Produktnummer: 40000048

195,00 €*

Die Linseis HCS Systeme werden hauptsächlich zur Charakterisierung von Halbleiter Materialien verwendet. Sie können sowohl die Hall-Konstante und den spezifischen Widerstand, als auch die daraus abgeleiteten Ladungsträger-Konzentration und Hall Mobilitäten der Proben bestimmen. Die Desktop-Grundeinheit gibt es in unterschiedlichen Konfigurationen, welche unter anderem mit verschiedenen Probenhaltern für unterschiedliche Probengeometrien und Temperaturanforderungen bestückt werden kann.

Eine optionale Tieftemperaturerweiterung für die Ntuzung von flüssigem Stickstoff sowie eine Hochtemperaturversion bis zu 800°C garantieren, dass alle denkbaren Anwendungsbereiche abgedeckt werden können. Die verbauten Permanent- und Elektro-Magneten liefern dabei fixe oder variable Magnetfelder von bis zu knapp einem Tesla. Die zugehörige, umfassende und Windows©-basierte Software ermöglicht die unkomplizierte Aufnahme von I-V und I-R Kurven sowie Messung und auswertung der Hall-Mobilität, elektrischen Leitfähigkeit und Ladungsträger-Konzentration.

Die Linseis HCS Systeme können dabei verschiedenste Materialien vermessen, unter anderem Si, SiGe, SiC, GaAs, InGaAs, InP, GaN (N Typ & P Typ) aber auch Metallschichten, Metalloxide und viele mehr. Gerne demonstrieren wir Ihnen die Leistungsfähigkeit des Gerätes anhand von Probemessungen in unserem Applikationslabor.

Messfunktionen:

  • Ladungsträgerdichte (Schicht [1/cm²]/Vollmaterial [1/cm³])
  • Hall-Konstante [cm³/C]
  • Hall-Beweglichkeit [cm²/Vs]
  • Schichtwiderstand [Ω]
  • Spezifischer Widerstand [Ωcm]
  • Elektrische Leitfähigkeit[S/cm]
  • Alpha (Verhältnis aus horizontalem zu vertikalem Widerstand)
  • Megnetowiderstand
  • Seebeck Koeffizient (µV/K)

Geräteeigenschaften:

  • Gasdichte Messkammer, welche Messungen unter definierten Atmosphären oder Vakuumbedingungen ermöglicht
  • Magnete mit 120 mm Durchmesser für höchste Feldhomogenität und maximale Genauigkeit (Poben bis 50mm x 50mm sind möglich)
  • Modulares und aufrüstbares Systemdesign
  • Hochtemperaturversion bis 600°C/873K
  • Beleuchtungsoption mittels LED (mehrere Wellenlängen sind möglich)
  • Optionaler Lock-In-Verstärker für Messungen mit geringstem Rauschen
  • Anschluss zur Verwendung von externer Messelektronik
  • Integriertes Softwarepaket für benutzerfreundliche Bedienbarkeit



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Permanent-Magnet-Option (HCS 1)

Der HCS 1 ist mit zwei Magnetkreisen (Neodym) ausgestattet, welcher auf einem beweglichen Schlitten montiert ist, der optional automatisierbar ist. Das System kann sowohl mit einer Tieftemperatur- als auch mit einer Hochtemperatur-Erweiterung ausgestattet werden.

Spezifikationen


Modell

HCS 1

Temperaturbereich:

Von LN2 bis zu 600°C in verschiedenen Konfigurationen

Magnet:

Dauermagnete bis zu 0,70 T Gleichfeld
Poldurchmesser 120 mm
Aufbau mit zwei Magneten für bipolare Messungen.

Eingangsstrom:

DC 1nA bis zu 125mA (8 Dekaden / Einhaltung +/- 12V)
AC 16 μA bis zu 20 mA und Eingangsimpedanz: >100 GigaOhm von 1 mHz bis 100 kHz

Messung der Spannung:

DC rauscharm / geringe Drift 1μV bis 2500mV, 4 Dekaden Verstärkung, Digitale Auflösung: 300pV
AC 20 nV bis zu 1V, variable Integrationszeiten und Verstärkung

Sensoren/ Probengeometrie:

- von 5 x 5 mm bis 12,5 x 12,5 mm, maximale Probenhöhe 3 mm
- von 17,5 x 17,5 mm bis 25 x 25 mm, Maximale Probenhöhe 5 mm
- von 42,5 x 42,5 mm bis zu 50 x 50 mm, Maximale Probenhöhe 5 mm
- Hochtemperaturplatte, 10x10 mm, maximale Probenhöhe 2 mm

Widerstandsbereich:

10-4 bis zu 107(Ωcm)

Trägerkonzentration:

107 bis zu 1021cm-3

Mobilitätsbereich:

10-2 bis zu 107(cm2/Volt sec)

Atmosphären:

Vakuum, inert, oxidierend, reduzierend

Temperaturgenauigkeit:

0,05°C

Seebeck-Option

Model

HCS 1

Probengeometire:Länge 6 mm bis 15 mm,
Breite 1 mm bis 10 mm,
Höhe Dünnfilm bis 2 mm
Seebeck-Koeffizient:von 1 μV/K bis zu 2500 μV/K
Messung:Steilheitstechnik mit 10 Messwerten/Sek.
Gradientenheizung: von 0,1 K bis zu 20 K
Thermocouples:Type K

Verfügbares Zubehör

Erweitern Sie Ihre Möglichkeiten

  • Es sind verschiedene Probenhalter für Messungen von LN2 bis zu 800°C erhältlich.
  • Der Probenhaltergriff schließt die Messkammer vakuumdicht ab.
  • Die Messkammer ist mit einem Ein- und Auslass für Gas versehen, so dass Messungen unter einer kontrollierten und wechselnden Atmosphäre durchgeführt werden können.

Software

Smarte Lösungen für individuelle Nutzung

Alle LINSEIS-Geräte sind PC-gesteuert, wobei die einzelnen Software-Module ausschließlich unter Microsoft® Windows®-Betriebssystemen laufen. Die integrierte Software ermöglicht eine einfache Handhabung, Temperaturregelung, Datenerfassung und Datenauswertung.

Allgemein:

  • NIST-Routine, um optimale Messeinstellungen zu finden und höchst genaue Ergebnisse zu erhalten
  • Erweiterter Verbindungstest
  • Mögliche Integration externer Elektronik
  • Optionale Datenbank-Speicherung
  • Optionale Integration eines Lock-in-Verstärkers
  • Automatische Sensorerkennung (EEPROM)
  • Automatische Auswertung
  • Vollautomatische Regelung der Kühlung
  • HCS 10 Online-Zugang zu Anpassungsdaten

Applikationen


Antimon Thin Film (150 nm Sb)

Antimon (Sb) ist ein Halbmetall, das im Bereich der Thermoelektrik (in Form von Legierungen, z.B. Bi1-xSbx) und als neue Anwendung im Bereich der Mikroelektronik weit verbreitet ist. Die größten Anwendungen für metallisches Antimon sind jedoch Blei-Antimon-Platten in Blei-Säure-Batterien. Die Abbildung zeigt eine vollständige Charakterisierung einer durch Sputterdeposition hergestellten Dünnschicht auf SiO2/Si-Substrat mit der Linseis HCS 1 (Option RT bis 200°C).