HCS 1
Charakterisierung von Halbleitern und Bauelementen
Probenhalter
Maximale Probenhöhe 5 mm
Maximale Probenhöhe 5 mm
Maximale Probenhöhe 3 mm
<font color="#e6662f">Zusätzliche Hochtemperaturoption für das HCS notwendig</font>
Probenhalter aus Keramik
Probenhalter für Proben von 5 x 5 mm bis 10 x 10 mm
Maximale Probenhöhe 3 mm
Für Messungen bis zu 200°C (inkl. TC Probes)
Probenhalter für Proben von 20 x 20 mm bis 25 x 25 mm
Maximale Probenhöhe 5 mm
Referenzproben & sonstiger Zubehör
Zusammensetzung: 95% Indium, 5% Zinn
Größe: 50 x 50 x 3 mm
Die Linseis HCS Systeme werden hauptsächlich zur Charakterisierung von Halbleiter Materialien verwendet. Sie können sowohl die Hall-Konstante und den spezifischen Widerstand, als auch die daraus abgeleiteten Ladungsträger-Konzentration und Hall Mobilitäten der Proben bestimmen. Die Desktop-Grundeinheit gibt es in unterschiedlichen Konfigurationen, welche unter anderem mit verschiedenen Probenhaltern für unterschiedliche Probengeometrien und Temperaturanforderungen bestückt werden kann.
Eine optionale Tieftemperaturerweiterung für die Ntuzung von flüssigem Stickstoff sowie eine Hochtemperaturversion bis zu 800°C garantieren, dass alle denkbaren Anwendungsbereiche abgedeckt werden können. Die verbauten Permanent- und Elektro-Magneten liefern dabei fixe oder variable Magnetfelder von bis zu knapp einem Tesla. Die zugehörige, umfassende und Windows©-basierte Software ermöglicht die unkomplizierte Aufnahme von I-V und I-R Kurven sowie Messung und auswertung der Hall-Mobilität, elektrischen Leitfähigkeit und Ladungsträger-Konzentration.
Die Linseis HCS Systeme können dabei verschiedenste Materialien vermessen, unter anderem Si, SiGe, SiC, GaAs, InGaAs, InP, GaN (N Typ & P Typ) aber auch Metallschichten, Metalloxide und viele mehr. Gerne demonstrieren wir Ihnen die Leistungsfähigkeit des Gerätes anhand von Probemessungen in unserem Applikationslabor.
Messfunktionen:
- Ladungsträgerdichte (Schicht [1/cm²]/Vollmaterial [1/cm³])
- Hall-Konstante [cm³/C]
- Hall-Beweglichkeit [cm²/Vs]
- Schichtwiderstand [Ω]
- Spezifischer Widerstand [Ωcm]
- Elektrische Leitfähigkeit[S/cm]
- Alpha (Verhältnis aus horizontalem zu vertikalem Widerstand)
- Megnetowiderstand
- Seebeck Koeffizient (µV/K)
Geräteeigenschaften:
- Gasdichte Messkammer, welche Messungen unter definierten Atmosphären oder Vakuumbedingungen ermöglicht
- Magnete mit 120 mm Durchmesser für höchste Feldhomogenität und maximale Genauigkeit (Poben bis 50mm x 50mm sind möglich)
- Modulares und aufrüstbares Systemdesign
- Hochtemperaturversion bis 600°C/873K
- Beleuchtungsoption mittels LED (mehrere Wellenlängen sind möglich)
- Optionaler Lock-In-Verstärker für Messungen mit geringstem Rauschen
- Anschluss zur Verwendung von externer Messelektronik
- Integriertes Softwarepaket für benutzerfreundliche Bedienbarkeit
Sie interessieren sich für ein HSC 1?
Sie möchten weitere Informationen erhalten?
Kontaktieren Sie uns!
Permanent-Magnet-Option (HCS 1)
Der HCS 1 ist mit zwei Magnetkreisen (Neodym) ausgestattet, welcher auf einem beweglichen Schlitten montiert ist, der optional automatisierbar ist. Das System kann sowohl mit einer Tieftemperatur- als auch mit einer Hochtemperatur-Erweiterung ausgestattet werden.
Spezifikationen
Modell | HCS 1 |
Temperaturbereich: | Von LN2 bis zu 600°C in verschiedenen Konfigurationen |
Magnet: | Dauermagnete bis zu 0,70 T Gleichfeld |
Eingangsstrom: | DC 1nA bis zu 125mA (8 Dekaden / Einhaltung +/- 12V) |
Messung der Spannung: | DC rauscharm / geringe Drift 1μV bis 2500mV, 4 Dekaden Verstärkung, Digitale Auflösung: 300pV |
Sensoren/ Probengeometrie: | - von 5 x 5 mm bis 12,5 x 12,5 mm, maximale Probenhöhe 3 mm |
Widerstandsbereich: | 10-4 bis zu 107(Ωcm) |
Trägerkonzentration: | 107 bis zu 1021cm-3 |
Mobilitätsbereich: | 10-2 bis zu 107(cm2/Volt sec) |
Atmosphären: | Vakuum, inert, oxidierend, reduzierend |
Temperaturgenauigkeit: | 0,05°C |
Seebeck-Option
Model | HCS 1 |
| Probengeometire: | Länge 6 mm bis 15 mm,
Breite 1 mm bis 10 mm, Höhe Dünnfilm bis 2 mm |
| Seebeck-Koeffizient: | von 1 μV/K bis zu 2500 μV/K |
| Messung: | Steilheitstechnik mit 10 Messwerten/Sek. |
| Gradientenheizung: | von 0,1 K bis zu 20 K |
| Thermocouples: | Type K |
Verfügbares Zubehör
Erweitern Sie Ihre Möglichkeiten
- Es sind verschiedene Probenhalter für Messungen von LN2 bis zu 800°C erhältlich.
- Der Probenhaltergriff schließt die Messkammer vakuumdicht ab.
- Die Messkammer ist mit einem Ein- und Auslass für Gas versehen, so dass Messungen unter einer kontrollierten und wechselnden Atmosphäre durchgeführt werden können.
Software
Smarte Lösungen für individuelle Nutzung
Allgemein:
- NIST-Routine, um optimale Messeinstellungen zu finden und höchst genaue Ergebnisse zu erhalten
- Erweiterter Verbindungstest
- Mögliche Integration externer Elektronik
- Optionale Datenbank-Speicherung
- Optionale Integration eines Lock-in-Verstärkers
- Automatische Sensorerkennung (EEPROM)
- Automatische Auswertung
- Vollautomatische Regelung der Kühlung
- HCS 10 Online-Zugang zu Anpassungsdaten
Applikationen
Antimon Thin Film (150 nm Sb)
